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[四川压力管道安装]电子特气制备工艺系统应用

2024-01-08 13:29:47   来源:    点击:
[四川压力管道安装]由于电子特气的化学活性和质量要求,电子特气制备的生产系统,特别是下游净化系统,必须满足高纯材料、高密封、高洁净度和高质量一致的要求和工程组件的构造要求符合半导体制造行业的标准。
 
    我们通常所说的“高纯”,理论上是物质纯度的定义,如高纯气体、高纯化学品等。应用于高纯物质的工艺系统或工艺系统部件也称为高纯,如高纯度系统和高纯度阀门。电子特种气体制备系统需要高纯应用管件、阀门等流体元件,即采用高纯材料和清洁制造工艺加工、结构易于吹扫和清洗的管件和阀门。具有较高的密封性能。这些流体元件根据满足应用的工艺流路设计,采用半导体行业的工程建设要求。
 
 
    高纯管道连接
 
    VCR金属垫片面密封连接和自动导轨对焊连接,由于既能满足连接处流道的平滑过渡,无滞留区,又能保证高密封性能,广泛应用于高要求的流体系统纯度工艺要求。VCR 连接通过挤压相对较软的金属垫圈形成狭窄的表面密封。每次拆卸和更换变形的垫片,都可以确保重复和一致的连接和密封性能。
 
    油管采用自动轨道焊接系统。管内外均设有高纯气体保护。钨极沿轨道旋转,实现高质量焊接。全自动轨道焊是在不引入其他材料的情况下对管材进行熔化,通过反复控制薄壁管材实现高质量焊缝是手工焊接难以实现的。
 
    高纯阀
 
    易燃、易爆、腐蚀性、有毒的电子特种气体的化学活性对阀门的密封性有较高的要求。为提高密封可靠性,要求采用无填料阀门,以防止外泄漏,即开关操作的阀杆与阀体之间的密封采用金属波纹管或金属膜片,以消除因磨损造成的泄漏和填料密封变形。由于密封件的可靠性更高以及阀门内部结构更容易清洗和吹扫更换,波纹管密封阀和隔膜密封阀通常用于高纯度应用的工艺系统。
 
    波纹管密封阀是一种无填料的针阀结构,可实现缓慢开启和调节流量。用于有安全流量要求的电子特种气体灌装或安全要求高的前体源瓶上。全金属阀杆尖密封件可达到极低的工作温度,用于低温精馏后的成品罐低温液化电子特种气体输送管道。
 
    无弹簧隔膜密封阀是一种1/4"快开阀,用于输送管路中的自动控制切换阀。由于其内部流路结构简单,内部容积小,吹扫更换方便,常用于超高压高纯度应用系统中。
 
    与非弹簧隔膜密封阀相比,通过阀杆尖端关闭的隔膜密封阀可以缓慢打开,并在较高的工作压力下使用。广泛应用于高压电子特种气体灌装或前体源瓶上。
 
    二级密封波纹管阀不仅可以应用于-200度的超低温工艺系统,而且可以防止危险介质泄漏到大气环境中。通常用于非常危险的电子特殊气体,如硅烷填充系统。
 
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