[四川锅炉安装]洁净度要求高
电子特种气体的制备工艺可分为上游合成制备和提纯两大块，属于化工生产工艺。生产管道尺寸较大，无特殊洁净等级要求。下游提纯后，产品充入气体，混合制备。生产管道小，有洁净等级要求。它需要满足半导体制造工艺的标准规范。
密封要求高
电子特种气体因其具有化学活性，对生产工艺系统的材质和密封性也有很高的要求。就像半导体制造的要求一样，它可以防止杂质的引入或特殊气体腐蚀引起的界面泄漏。、燃烧爆炸、污染环境等危害。
高质量稳定性要求
电子特种气体的质量包括纯度、杂质颗粒含量等多项指标。指标的任何变化都会影响下游半导体制造过程的结果。因此，为保证电子特气产品指标的一致性，制备工艺系统控制指标的稳定性也非常重要。
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